标准号：GB/T 17866-1999 采
中文标准名称：掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
英文标准名称：Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems
标准状态： 现行
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中国标准分类号（CCS）
L56
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
1999-09-13
实施日期
2000-06-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家质量技术监督局
备注
2000-06-01实施
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