标准号：GB/T 28276-2012

中文标准名称：硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
英文标准名称：Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
L55
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2012-05-11
实施日期
2012-12-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
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