标准号：GB/T 42709.29-2026 采 |
| 中文标准名称：半导体器件 微电子机械器件 第29部分：室温下悬空导电薄膜的机电松弛试验方法 | |
| 英文标准名称：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 29: Electromechanical relaxation test method for freestanding conductive thin films under room temperature | |
| 标准状态： 即将实施 | |
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