标准号：GB/T 32189-2015

中文标准名称：氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
英文标准名称：Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H21
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2015-12-10
实施日期
2016-11-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
  • 版权所有 侵权必究
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