标准号：GB/T 33826-2017

中文标准名称：玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法
英文标准名称：Measurement of nanofilm thickness on glass substrate—Profilometric method
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
Q34
国际标准分类号（ICS）
71.040.99
发布日期
2017-05-31
实施日期
2017-12-01
主管部门
中国科学院
归口部门
中国科学院
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
  • 版权所有 侵权必究
  • 主管：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
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