标准号：GB/T 1554-2009

中文标准名称：硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
英文标准名称：Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H80
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2010-06-01实施,代替GB/T 1554-1995
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