标准号：GB/T 19921-2018

中文标准名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
英文标准名称：Test method for particles on polished silicon wafer surfaces
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H21
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-07-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
备注
  • 版权所有 侵权必究
  • 主管：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
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