标准号：GB/T 34971-2017

中文标准名称：半导体制造用气体处理指南
英文标准名称：Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
G86
国际标准分类号（ICS）
71.040.40
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-02-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
  • 版权所有 侵权必究
  • 主管：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
  • 主办：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心
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