标准号：GB/T 32814-2016

中文标准名称：硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
英文标准名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
L55
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2016-08-29
实施日期
2017-03-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
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