标准号：GB/T 43493.2-2023 采

中文标准名称：半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法
英文标准名称：Semiconductor device—Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices—Part 2: Test method for defects using optical inspection
标准状态： 现行
实施信息反馈 该标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准，由于涉及版权保护问题，本系统不提供文本阅读服务