标准号：GB/T 48095-2026

中文标准名称：高深宽比微结构形貌参数显微干涉测量方法
英文标准名称：Measurement method for topographic parameters of high-aspect-ratio microstructures utilize microscopic interferometry
标准状态： 即将实施
中国标准分类号（CCS）
L 50
国际标准分类号（ICS）
17.180.99
发布日期
2026-08-28
实施日期
2027-03-01
主管部门
中国科学院
归口部门
中国科学院
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
备注
  • 版权所有 侵权必究
  • 主管：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
  • 主办：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心
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