标准号:GB/T 30701-2014 采 |
| 中文标准名称:表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定 | |
| 英文标准名称:Surface chemical analysis―Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy | |
| 标准状态: 现行 | |
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