标准号:GB/T 25915.13-2022 采 |
| 中文标准名称:洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁 | |
| 英文标准名称:Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications | |
| 标准状态: 现行 | |
| 该标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准,由于涉及版权保护问题,本系统不提供文本阅读服务 |