标准号：GB/T 44515-2024 采

中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法
英文标准名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
标准状态： 现行
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