标准号：GB/T 16523-1996 采
中文标准名称：圆形石英玻璃光掩模基板规范
英文标准名称：Specification for round quartz photomask substrates
标准状态： 现行
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中国标准分类号（CCS）
L90
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
1996-09-09
实施日期
1997-05-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
备注
1997-05-01实施
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