标准号：GB/T 47767-2026 采

中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法
英文标准名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever
标准状态： 即将实施
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